自研高精度低溫芯片測試系統探針臺成功入駐北京高校實驗室

發布時間:2025-10-31 14:10 1157次瀏覽 作者:藍海科儀(天津)儀器儀表有限公司

藍海科學儀器自主設計、生產的高精度低溫芯片測試系統探針臺，已成功交付并安裝至北京某高校實驗室，正式投入科研使用。

高精度低溫芯片測試系統探針臺

技術參數

可用于半導體芯片高精度光電性能測試，可提供不低于4.5K~350K的可控測試環境溫度范圍，且樣品環境真空度優于5x10^-4 torr

1）探針臺為閉循環低溫控制系統，可控溫度范圍4.5K~350K；

2）探針臺從室溫到最低溫3小時(3h)，最低溫到室溫1.5小時(1.5h)；

3）探針臺安裝四路開爾文探針，可測試小于2英寸的樣品；高精度開爾文探針座X方向位移距離 75mm，Y 方向位移距離25mm，Z 方向位移距離25mm，位移精度 3μm，每路探針配兩個三同軸接口。安裝1路光纖臂，多模IRVIS光纖，波長范圍400-2100nm；

4）探針安裝托熱錨(熱沉)到樣品臺同級平臺，減小探針和樣品臺同級平臺之前的溫差，探針安裝托溫度低于25K；

5）探針臺配置兩英寸樣品臺，樣品臺浮地屏蔽設計，帶背部電極，樣品臺表面鍍金處理，探針運動范圍覆蓋整個樣品臺；

6）探針臺鋁電鍍真空室(內徑215mm×180mm)、銅輻射屏鍍金(內徑150mm，高度 100mm)輻射屏上帶有觀察窗(材料藍寶石，直徑50mm)和針臂進入口；

7）探針臺真空罩觀察窗凈尺寸直徑65mm，觀察窗材料使用熔融石英；

8）探針臺樣品環境真空度優于 5×10^-4 torr，從大氣壓到 5×10^-4 torr 時間小于1小時，真空室桌面下端安裝KF25真空抽口1個，真空口抽口上安裝可拆卸的KF25手動真空閥門，真空室桌面上端安裝1個獨立放氣閥；

9）探針臺溫度穩定性:全溫區優于士50mk；

10）探針臺配置樣品臺上安裝1個硅二極管傳感器和1個單頭加熱器,用于測量和控制樣品臺溫度。探針臂上安裝1個硅二極管傳感器，用于監視探針臂的實時溫度。輻射屏上安裝1個PT100(鉑熱電阻)傳感器和1個單頭加熱器，用于測量和控制輻射屏溫度。二級冷頭上安裝1個硅二極管傳感器，實時檢測二級冷頭溫度；

11）探針臺提供四路溫度測量和兩路加熱輸出，組成兩路閉環控制，一路閉環控制包括一路溫度測量和一路加熱輸出，一路閉環控制用于樣品臺，另一路閉環控制用于輻射屏，其余兩路溫度測量分別用于探針臂和二級冷頭。控溫儀溫度分辨率1mK，加熱功率75W，具備通信接口，提供控溫軟件實施顯示監測溫度、控制溫度；

12）探針臺配備工業 CCD 電子顯微鏡，顯微鏡 3400萬像素，22 英寸顯示器；

13）配備一體式水冷機及分子組滿足系統正常工作需求。

作為核心科研設備，該探針臺憑借強穩定性與高測試精度，精準匹配高校研究需求，為實驗數據可靠性提供堅實保障，得到實驗室團隊認可。藍海科學儀器將持續深耕國產科研設備研發，以更優穩定性、更高性價比的產品，深度參與國內高校科研工作，助力祖國高校教學與科研事業高質量發展！

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